北方华立异专利助力半导体加热技能提高晶圆温控精度
发布时间：2025-04-19 06:35:08 来源：虎牙斯诺克直播在线观看
近来，金融界报导，北京北方华创微电子配备有限公司成功取得了一项重要专利，名为“半导体工艺腔室及其加热组件”。该专利的授权公告号为CN222530378U，请求日期为2024年2月。这一立异专利在半导体工艺设备范畴引起了广泛重视。
专利摘要说到，针对半导体制作的完好过程中晶圆的温度均匀性问题，该专利的加热组件规划将发挥及其重要的作用。具体来说，它包含一个榜首加热光源和配光透镜，后者可以在光源和晶圆承载设备之间进行灵敏移动，然后精准调整光线的掩盖区域。这种可变的掩盖面积将直接影响晶圆的加热作用，然后有用提高温度均匀性。
北方华创成立于2001年，总部在北京，注册资本超越114亿元。作为电气机械和器件制作范畴的佼佼者，该公司不仅在国内市场占有了一席之地，还热心参加国际市场。经过数据剖析，此公司迄今为止共对外出资了八家企业，参加招投标项目多达1008次，知识产权方面则拥有约5000项专利和38个商标。
从更广义的视角来看，这一专利的取得无疑关于我国的半导体产业链的技能立异与前进具有极端重大意义。在全球半导体竞赛愈演愈烈的布景下，提高制作工艺和设备的技能水平已成为各大企业布局未来的要害。北方华创在这条路上迈出的脚步，意味着我国在高端制作范畴正在不断加快开展。回来搜狐，检查更加多
